質問項目が見つからない場合は「システム営業」までお問い合わせください。

電源プラグがコンセントから外れていませんか?
確実に差し込んでください。

アプリケーションソフトが起動しない。

光学部（ステージ、レンズ）の初期化は終了していますか?
初期化が終了していないときは次項「光学部の初期化が終了していない」の項目を参照してください。

起動時に通信エラーが表示されませんか?
本体との通信障害、ソフトウェアの問題です。弊社までご連絡ください。

光学部の初期化が終了しない。

レンズの初期化は終了していますか?
ステージの故障。

フィルタホイールが回り続けていませんか?
Oリングが切れている。又はセンサーの故障。

パターン画像が安定しない。

画面がちらつき、縦方向に明るさが変わっていませんか?また、ランプコントローラ内のメカシャッタの開閉音も不規則ではありませんか?（通常は一定間隔で音がします。）
メカシャッタの故障。弊社までご連絡ください。

明るい部分で縦方向に尾を引いていませんか?
メカシャッタの故障。弊社までご連絡ください。

パターン画像が出ない（表面、裏面観察）。

照明が暗すぎませんか?
照明を上げてください。

ランプコントローラ内の照明ランプが切れていませんか?
照明ランプを交換してください。

露光時間、コントラストエンハンスの設定は適正ですか?
照明を上げても見えない場合は露光時間を長くしたり、コントラストエンハンス機能を使用してください。

フォーカスは合っていますか?
フォーカスを合わせてください。

表面、裏面観察の設定は合っていますか?
表面観察、裏面観察の設定、フィルタを切り替えてください。

発光像が見えない又は微弱である。

積算時間が短くありませんか?
積算時間を長くしたりスーパーピクセルを使用してください。

試料にバイアスをかけていない。
試料にバイアスをかけてください。

試料自体が発光していない。
発光の確認ができている試料を試してください。

画面に白いノイズが現れる。

CCDカメラの冷却がオフになっていませんか?
冷却オンに設定してください。

CCDカメラの冷却温度は十分下がっていますか?（温度が下がっていませんとCCD暗電流が増加しノイズが上昇します）
水冷循環器のトラブル（アラーム、クーリングオフ）又は冷却水が循環していない。

画面に大きなゴミが見える。

CCDカメラの前面ガラス面にゴミが付着している。（すべてのレンズで見える場合）
ＣＣＤカメラ受光部の清掃。弊社までご連絡ください。

光学経路のゴミの付着。（ミクロレンズで見える場合）
光学経路の清掃。弊社までご連絡ください。

リミット位置に達していませんか?
ステージの移動範囲を変更する。

ステージコントローラ、操作画面共に移動できませんか?
ステージ関係の故障。

CCDコントローラからアラームが鳴る。

CCDカメラの冷却温度は設定値近くまで下がっていますか?（ペルチェ素子の冷却ができませんと保護のためアラームが鳴ります）
CCDカメラ循環部の清掃が必要です。

ミクロレンズの切り替えができない。

レンズレボルバのモータが空回りしている音がしませんか?
レンズレボルバの丸ベルトの劣化。弊社までご連絡ください。

発光像が飽和してしまう。

CCDの冷却がオフになっていませんか?
冷却オンに設定してください。

ビニール袖から外光が入っていませんか?
外光が入らないようにしてください。

扉が開いていませんか?
扉を閉めてください。

CCDカメラの冷却温度が下がらない。

CCDカメラヘッド前面部分が温かくなっていませんか?
CCDカメラ循環部の清掃が必要です。

水冷循環器の水温が上昇していませんか?
ブレーカを復帰し、クーリングONに再設定してください。

真空ポンプ（真空引きタイプの場合）は動作は正常ですか?
真空ポンプのオイルの汚れ、量の確認をしてください。。

水冷循環器のアラームが鳴る。

水が不足している。
水を補充してください。また、クーリングONの設定を確認してください。

水冷循環器の水温が上昇する。

背面のブレーカが落ちている。
ブレーカを復帰し、クーリングONに再設定してください。

水冷循環器のホースが結露している。

設定温度よりも水温が下がっていませんか?
水冷循環器の故障。

防振台の圧縮空気圧は正常ですか?（約0.25Mpa）
適正な圧力の圧縮空気を供給してください。

防振台は正常に浮上していますか?（防振台と暗箱のすきまに異物があると防振効果が低下します）
防振台の周りの異物を取り除きます。

床面の揺れが規定値を超えている。
設置場所の検討が必要です。

レンズ切り替えすると目標位置がずれる。

長期間装置を使用していませんか?（機械的な経年変化でずれが発生します）
レンズアライメント、カメラアライメントを取得してください。

対物レンズを取り替えていませんか?
レンズアライメント、カメラアライメントを取得してください。

レンズレボルバにがたがありませんか?
レンズレボルバの調整又は修理。

Ｚステージが下がらない。

ソフトリミットがかかっていませんか?
ステージ↓キー下のボタンを解除してください。