浜松ホトニクス | 豊岡製作所　電子管事業部　

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浜松ホトニクス株式会社電子管事業部は、主力製品である光電子増倍管をはじめ、受光・発光・イメージングに関する要素技術開発から発展させた多くの製品を製造・販売しています。

超高感度・超高速など、光先端技術の進歩を基幹から支えているのが電子管事業部であり、ここで生まれる製品は血液検査・医用画像診断に代表されるメディカル分野をはじめ、分光分析、半導体、バイオ、学術研究など幅広い分野で活躍しています。

電子管事業部のこれら技術・製品により「計れる（測れる、量れる）」ということはまさに「新しい知見」を得るキッカケであり、豊岡製作所は各種産業の発展を支えるキーデバイスの産地ということができます。

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このサイトでは少し趣向を変えて、電子管事業部豊岡製作所の活動や、地域と関連した活動についてご紹介します。浜松ホトニクスの企業理念に則り、先端光デバイスを生み出す電子管事業部豊岡製作所の文化・雰囲気を少しでも感じ取っていただけますと幸いです。

電子管事業部豊岡製作所は静岡県磐田市にあります。2005年4月の市町村合併までは磐田郡豊岡村であり、豊岡製作所という名称もその時代からのものです。すぐ近くには天竜川が流れ、山や緑にも囲まれた自然環境に恵まれた場所です。

電子管事業部では独自に表彰制度を設け、これまで永年に渡り自薦・他薦のテーマから表彰テーマが選出され表彰されてきました。

電子管事業部は浜松ホトニクスの中でも特に「モノづくり」という言葉が当てはまる事業部であり、日々の業務の中での開発、製造、その他間接部門を問わず業績に貢献したテーマ、業務効率改善に貢献したテーマ、社会的に評価を受けたテーマ、さらにはアイデアそのものまでが表彰対象となっています。

一人ひとりがテーマをもって業務に臨む電子管事業部の特色を表した制度となっています。

2002年にノーベル物理学賞を受賞された小柴昌俊東京大学特別栄誉教授が、素粒子観測施設「カミオカンデ」において使用した世界最大の光センサ「20インチ光電子増倍管」も豊岡製作所で開発・製造されました。

カミオカンデ用に1,000本以上、また後継の観測施設であるスーパーカミオカンデ用の11,000本以上も全てここ豊岡製作所にて製造されました。

現在は「子供たちに夢と希望を」という磐田市教育委員会からの依頼で、この20インチ光電子増倍管の展示用見本を磐田市内中学校にて巡回展示中です。一人でも多くの中学生に、科学技術やモノづくりに興味を持ってもらえれば幸いです。

　

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近年、環境問題に対応するためEUをはじめとする各国では化学物質等に対するさまざまな規制が強化されています。電子管事業部ではグローバルな視点で環境問題を考え対応していくことの必要性は従来から意識されてきました。

一方、電子管事業部の技術・製品の特徴でもある「極限性能の追求」のために資源とエネルギーを消費する一面を持っているのも事実です。

これら相反する要素をバランス良く解決するために環境問題に関わる各部会・委員会を立ち上げ、環境負荷低減をさらに開発思想・設計思想から盛り込むために必要な活動を展開しています。

「モノづくり」がますます難しくなる中、電子管事業部の環境方針である「光技術を通して地球環境を守る」という理念に基づき、社会から存続を望まれる事業所を目指した活動をこれからも継続していきます。

ステルスダイシング技術は、レーザを用いた全く新しい半導体ウェーハダイシング技術です。これまで世に送り出してきたレーザ加工装置やIC薄膜除去装置などで培ってきたレーザ技術、光学系技術の集大成ともいえるのがステルスダイシング技術であり、この技術をダイシング装置搭載用にユニット化したものがステルスダイシングエンジンです。

半導体製造においてウェーハはサイズ的には大型化をたどる一方、その厚さは非常に薄型となっています。1枚のウェーハからいかに多くのチップを切り出せるか、あるいは高機能を有した集積回路をいかに傷付けずに切り出せるか、ダイシング工程は最終製品が小型・高性能になればなるほど過酷な条件を課せられます。ステルスダイシングはこの過酷な条件をクリアするための必須技術です。ステルスダイシングエンジンを搭載したダイシング装置の導入は着実に進んできています。

　

ステルスダイシング技術の詳細はこちら

ステルスダイシングエンジン搭載のダイシング装置には、この商標が付いています。

このステルスダイシングエンジンを搭載したダイシング装置（ダイサー）は、消費電力を68％削減可能（一定加工条件下）、さらに完全ドライプロセスである特徴から純水を必要とせず、純水製造・排水等まで考慮すると消費電力を77％削減可能となり、2007年2月には「優秀省エネルギー機器／日本機械工業連合会会長賞」を受賞しました。

この受賞の意味するところはまさにステルスダイシングエンジン搭載装置を導入する半導体製造メーカーの「エネルギー・環境面への配慮」を示唆するものであり、ダイシング工程がステルスダイシングであることは、環境負荷軽減の一翼を担いつつ半導体製品を製造しているという、半導体製造メーカーのアピールポイントでもあります。

■ 光電子増倍管の応用例－ダストカウンタ

ダストカウンタは、大気中や室内などに浮遊している粒子の濃度を測定する装置です。測定方法には、光の散乱、β線の吸収などを用います。

左図は光の散乱を応用したもので、光の通るところに浮遊粒子があれば、光はその浮遊粒子に当たって散乱します。散乱光は浮遊粒子が多いほど強くなり、浮遊粒子の量に比例します。

そこで、この散乱光を光電子増倍管で受光し、その信号を積分した後パルス信号に変換し、その出力を粒子濃度に対応させます。この方法は濃度変化にすぐに追従できるため、連続動作させて経時変化をみるような場合に適しています。

■ 光電子増倍管の応用例－窒素酸化物（NOx）分析計

自動車や各種燃焼機関などの排出ガス中に含まれる大気汚染物質の窒素酸化物（NOx）を測定する装置です。

NOx は一酸化窒素（NO）と（NO₂）の総称で、酸性雨の原因のひとつとされ、大気汚染防止法によりその排出ガス濃度が一定の値を越えてはならないと定められています。

化学発光方式として左図に構成例を示しています。NOxから変換されたNOガスとオゾン（O₃）ガスが反応してNO₂ガスになるとき、放出される化学発光強度を測定することでNOxガス濃度を知ることができます。この発光強度はNOガス濃度と比例関係にあり、また排出ガス中に共存する他の成分に影響されにくいことからNOガスのみを選択的に測定することができます。

浜松ホトニクスには「光友会」という組織があり、年間を通じて会員（社員）をはじめその家族、友人らが参加できるさまざまな活動・イベントを行っています。その中で「夏祭り」は会場を各事業所持ち回りで開催されています。

さまざまな屋台やイベントなどで毎年賑やかな夏祭りですが、特に豊岡製作所での開催のときには近隣の住民の方々にも夏祭りチケットを配布して夏祭りに参加していただいたり、ショールームを公開して電子管事業部の製品を実際にご覧いただくなど、豊岡製作所をさらに知っていただく機会となっています。

また、バザーへの協力による売上げは全て「遠州の園（高齢者福祉施設・磐田市）」に寄付させていただいています。

従業員数800名以上を擁する豊岡製作所への通勤手段は、そのほとんどが自家用車となります。そのため交通部会という組織により従業員への交通安全教育、地域警察署と連携しての交通安全啓蒙活動が実施されています。

交通部会は毎月1回、朝の通勤時間帯に事業所周辺で立哨指導を実施し、セーフティードライブの啓蒙活動に励んでいます。また、事業部をあげて交通安全スローガン募集やセーフティーチャレンジラリー（150日間の無事故・無違反に挑戦）への積極的な参加を実施しています。

平成19年使用の交通安全年間スローガンでは、豊岡製作所の従業員2名が内閣総理大臣賞（最優秀賞）と内閣府特命担当大臣賞という名誉ある賞を受賞しました。

電子管事業部としての環境美化活動を実施しています。これは毎年6月の環境月間に、磐田市環境美化条例にて定められる「環境美化の日」に基づく活動として、地域環境の保全に資することを目的として磐田市からの協力要請を受けて実施しているものです。

電子管事業部環境委員会の呼びかけに従業員有志が毎年30名～40名参加し、就業時間後に事業所敷地周辺の清掃活動を行っています。

電子管事業部豊岡製作所では従業員一人ひとりが社会の一員であることを自覚し、社会とのコミュニケーションを通じて地域と事業所の共存、継続的な発展を目指していきます。

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