インダストリー浜松ホトニクス｜技術シーズ

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「インダストリー」分野への取り組み

ここでは「インダストリー」分野のビジョンを現実に導くために、私たちがもつ技術の種（シーズ）をご紹介いたします。この分野では、将来に渡り産業や社会を大きく変えていくため、光技術による貢献を目指していきます。

ステルスダイシングによるウェーハカット

ステルスダイシングによるウェーハカット

ステルスダイシング技術

次世代のダイシング技術「ステルスダイシング技術」は、シリコンウェーハの内部にレーザを照射して任意の位置に改質層を形成させ、テープエキスパンドなど外部応力を加えることにより、ウェーハ表面に亀裂を成長させてチップを小片化するカッティング技術です。

ステルスダイシング技術

ステルスダイシングによる加工例

ステルスダイシングによる加工例


	特許について ■米国特許第6992026　他32件特許出願中 ■日本特許第3408805号、特許第3626442号、特許第3761565号、特許第3761567号、特許第3761566号、特許第3624909号、特許第3670267号、特許第3790254号、特許第3822626号、特許第3762409号、特許第3867003号、特許第3867107号、特許第3867109号、特許第3867110号、特許第3867101号、特許第3867102号、特許第3867103号、特許第3867100号、特許第3867104号、特許第3867105号、特許第3869850号等　計28件他143件出願中 ■台湾特許I2500060 他35件出願中 ■ヨーロッパ　 28件出願中 ■大韓民国特許KR10-0667460　他27件出願中 ■中華人民共和国　30件出願中 ■他にタイ、マレーシア、インド、フィリピン、シンガポール、イスラエル等へ出願中特許I2500060 他35件出願中（2007年2月1日現在）


	ステルスダイシングWebサイト -SD_Web-

ステルスダイシング技術の最新技術情報と加工ノウハウを紹介する浜松ホトニクスの公式サイトです。

ステルスダイシングWebサイト -SD_Web-

グローバルサイトのスペシャルコンテンツ「光で何ができるか?」では浜松ホトニクスが考える光技術による新しい産業化への取り組みをご紹介しています。こちらもあわせてご覧ください。

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