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製品情報 > Ｘ線関連製品 > マイクロフォーカスX線源

FOS, ACS, ALS（シンチレータプレート）

マイクロフォーカスX線源

		X線非破壊検査用のX線源です。微小焦点により透視画像の拡大によるエッジのボケを抑え、鮮明な拡大画像が得られます。外部制御機能としてRS-232Cインターフェースを標準装備しています。立体形状観察においても鮮明な透視・拡大画像を得ることができます。

製品カタログ (810 kB)

マイクロフォーカスX線源概要

マイクロフォーカスX線源シリーズは、X線非破壊検査用のX線源です。微小焦点を達成し、X線像の拡大によるエッジのボケを抑え、鮮明な拡大画像が得られます。外部制御機能として、RS-232Cインターフェースを標準装備しています。
従来はX線源、透視対象物に対して垂直方向にX線カメラを設置して撮像する方式が主流でしたが、最近ではより精度の高い検査のためX線カメラをX線源、透視対象物に対して斜め方向に設置し、立体形状観察する方式が主流となっています。マイクロフォーカスX線源は1μmから数μmという微小焦点径のため、この立体形状観察においても鮮明な透視画像・拡大画像を得ることができます。

撮像例

左：50μm ICバンプ　　右：BGA接合部

特長

■世界最小クラスのX線焦点寸法
　　1ミクロン未満（L8321-01)
■X線幾何倍率：1000倍以上（L9191, L8321-01）
　　透過型ターゲットを採用　 FOD 0.5 mm
■75 Wの高出力（L8121)
■高圧ケーブル不要
　　高圧電源と本体を一体化
■外部制御可能
　　RS-232Cインターフェース標準装備

用途

■X線透視装置
■X線CT装置
■インラインX線検査装置
　　対象品目：電子部品　　実装基板　　樹脂部品　　金属部品　　食品　　飲料品　　医薬品　　バイオ

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