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軟Ｘ線用ウォルターミラー（100eV以下用）

Ex-2

本ミラーは、波長：100eV以下の軟Ｘ線領域で加工を行うためのレンズで縮小露光や集光が可能です。加工には高いＸ線の利用効率が必要であるため、本ミラーは大きな立体角、金コートによる高い反射率を有します。

◇仕様

*反射率、効率は理論値であり、実際には加工誤差（表面粗さ、形状誤差）により低下します。

◇寸法図 (単位:mm)