発熱画像解析装置

　THEMOS mini は、THEMOS-1000と同様のInSb検出器を搭載した単機能・省スペース型の発熱画像解析装置です。半導体デバイスの内部で発生する熱を検出し、パターン画像とを重ね合わせて表示することにより、高感度かつ高い位置精度で故障箇所を迅速に特定します。
　長作動距離の赤外対物レンズを用いて容易にウェーハサンプルへのプロービングも行えます。また、半導体材料・PCボードなどマクロ視野観察から半導体素子のミクロ視野観察まで多岐にわたる発熱解析のエントリーモデルとして最適です。

製品カタログ(PDF650KB)

製品説明

特　長
●  高感度赤外検出器(InSb)を採用
●  最適設計されたIR光学系
●  裏面からの発熱画像解析
●  200  mmウェーハチャックを標準装備

応　用
●  メタル配線のショート
●  コンタクトの抵抗異常
●  酸化膜のマイクロプラズマリーク
●  酸化膜破壊
●  TFT-LCD/有機ELのリーク箇所の検出
●  新規半導体デバイス開発時におけるデバイス内の温度異常箇所の観察