精密測光用

紫外から近赤外域までに感度をもつフォトダイオードです。BQタイプは紫外域で0.1 A/Wを超える高感度を実現しています。暗電流、端子間容量が低く低雑音のため、精密測光や分析機器に適しています。

赤外域の感度を抑制したタイプのフォトダイオードです。BQタイプは紫外域で0.1 A/Wを超える高感度を実現しています。暗電流が低いため、微弱光の検出に適しています。水銀ランプなど、高出力の紫外線の検出用として、BUタイプも用意しています。

可視〜近赤外域に感度をもち、近赤外域で高感度を実現しています。暗電流が低く、優れた直線性をもっているため、パワーメータなどの用途にも使用できます。

真空紫外 (VUV)領域に感度をもち、特にエキシマレーザ (ArF: 193 nm, KrF: 248 nm)の検出に適しています。高出力のVUV照射による感度劣化が少なく、長期間にわたって安定した検出が可能です。

窓材に干渉フィルタを採用し、単一波長のみに高い感度をもつ受光素子です。感度波長のスペクトル幅は10 nm (FWHM)と極めて狭く、迷光のない正確な測光が行えます。