OpticalMicroGauge (厚み計測装置）

　Optical MicroGauge C8125-01は、光の干渉を利用した新しい独自の技術（特許出願中）を用いたウェーハ厚み計測装置です。10μm〜700μmの厚みを非接触・リアルタイムで計測します。この光の干渉を利用した計測では、保護フィルムやパターンの影響を受けずにウェーハ自体の厚みを計測することが可能です。また、非接触式ですので、ウェーハを傷つけることなく、高精度な厚み計測が行えます。各種エッチングプロセスにおいてウェーハを薄くする場合など、インラインモニタリングすることにより、極薄いウェーハを安定して生産することが可能となります。

製品カタログ（PDF228KB）

製品説明

特　長
●  10μm〜700μmの厚みを計測
●  非接触計測によりウェーハを傷付けません
●  パターン付ウェーハ､保護フィルム付ウェーハの計測が可能
●  厚み分布計測が可能（C8870-01，-02）
●  ウェットエッチング時のウェーハ厚みモニタが可能
●  片側からの計測でインラインにも対応

用　途
●  保護フィルム付きウェーハの厚み計測
●  パターン付きウェーハの厚み計測
●  ウェーハの厚み分布測定
●  エッチング・グラインディング特性の確認・品質評価