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厚み計測（10 μm以上）
光学式を用いることにより非接触で、ガラス、フィルム、半導体ウェーハなど各種試料の厚みを計測する装置です。
厚み計測（数十 nm〜数十 μm）
光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。
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