倒立型エミッション顕微鏡

倒立型エミッション顕微鏡『iPHEMOS(アイフィーモス)』は、半導体デバイスの裏面解析専用に開発された倒立型の半導体故障解析システムです。検出器を選択することで、発光解析・発熱解析・IR-OBIRCH解析や時間分解エミッション解析が可能です。容易にテスタへのダイレクトドッキングが行える構造になっています。また、裏面観察専用のプローバと組み合わせることで、ウェーハ単位での計測からチップ単体での計測まで対応します。

製品カタログ(PDF 532KB)

製品説明

特　長
●  テスタへのダイレクトドッキングによりダイナミック解析が可能
●  高精度ステージ搭載のマルチカメラプラットフォーム
●  豊富な検出器により低電圧サンプルの発光を検出
●  高度な測定に対応できるフレキシブルなシステム設計
●  1倍から100倍まで豊富な対物レンズの選択が可能
（最大10穴のリボルバー式タレット（オプション）でレンズの搭載が
可能）
●  300  mmバックサイド専用プローバを搭載可能

オプション
●  NanoLensによる高解像度・高感度観察
●  OBIRCH解析機能を搭載
●  デジタルロックインキットの採用により、OBIRCH解析の
　検出機能を向上
●  レーザ照射ダイナミック解析
●  故障解析支援システム