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特 長
● IRコンフォーカルレーザ顕微鏡を搭載
● 高感度赤外検出器（InSb）の採用
● 最適設計されたIR光学系
● PHEMOS共通の操作性
● 裏面からの発熱画像解析
● InGaAsカメラの搭載により、発光解析も可能
● 発熱像・OBIRCH像とのスーパーインポーズ
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応 用
● メタル配線のショート
● コンタクトの抵抗異常
● 酸化膜のマイクロプラズマリーク
● 酸化膜破壊
● TFTのリーク箇所の特定
● 有機ELのリーク箇所の検出
● 新規半導体デバイス開発時におけるデバイス内の温度異常箇所の観察
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