真空紫外（VUV）光源ユニット

新しい真空紫外光源ユニットです。「MgF2窓付き高輝度重水素ランプ」を内蔵し、輝度は約4倍高くなりました（当社従来品比）。空冷式と、真空フランジ取り付け部を採用したことにより、使い易さが格段に向上しました。

S2D2真空紫外光源ユニットは、小型MgF2窓付き重水素ランプを内蔵した真空紫外光源ユニットです。真空フランジ付属のSUSフレキシブル管と専用の冷却機構により、照射対象物への近接照射や減圧下への設置及び点灯が可能となりました。