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合成石英ビューイングポート

		浜松ホトニクスの電子管製造技術による、新しいタイプの超高真空用ゼロレングス合成石英ビューイングポート(覗き窓)です。フランジと窓材が非常にクリーンな拡散接合で行われており、超高真空はもちろん、極高真空にも充分対応できる仕様となっております。また、耐熱、透過率を重視した仕様にも対応できます。

カタログ (270 kB)

ビューポート　合成石英ビューイングポート木戸工房　超高真空

新製品情報：　2008年6月　MgF₂窓タイプ 3製品が新しくラインアップに加わりました。

ビューポート概要

膨張係数が大きく異なる「合成石英ガラス」と金属を従来にない非常にシンプルな素材構成で拡散接合するという理論的には困難なことを、経験と技により実現させたものです。
「ゼロレングス超高真空合成石英ビューイングポート」は、その技術とアイデアにより生まれ、新製品VQ-152をラインアップに加え、ますます充実しています。

用途

■真空チャンバーの覗き窓
■レーザ照射窓　等

特長

■超高真空はもちろん、極高真空にも対応・・・多くの製品が10^-12 Pa・m³/sec 台
■フランジと窓材が非常にクリーンな拡散接合・・・放出ガス・コンタミが少ない
■製品はすべてベーキング後に出荷・・・ベーキング時間を短縮
■シール部が非常に強固
■耐レーザ特性が良好
■用途に応じた仕様、特注品にも対応

仕様

項目	内容
ベーキング温度	350 ℃Max.
ヘリウムリーク量	1 x 10^-11 Pa・m³/sec 以下
窓　材	合成石英ガラス

合成石英窓　波長－透過率特性

MgF₂　サファイア等　波長に応じた窓材、またARコート品も対応可能です。ご相談ください。

外形寸法図

■合成石英窓タイプ

型名	フランジ	F	V	T	H	単位
VQ-034	ICF34	34	10	1.2	7.3	mm
VQ-070	ICF70	70	34	2.5	12.7	mm
VQ-114	ICF114	114	61	3.5	17.5	mm
VQ-152	ICF152	152	78	4.5	20	mm

■サファイア窓タイプ

型名	フランジ	F	V	T	H	単位
VS-034	ICF34	34	10	0.5	7.3	mm
VS-070	ICF70	70	29	1.0	12.7	mm
VS-114	ICF114	114	47.3	2.0	17.5	mm

■MgF₂窓タイプ

新製品

型名	フランジ	F	V	T	H	単位
VM-034	ICF34	34	10	1.0	7.3	mm
VM-070	ICF70	70	22	1.0	12.7	mm
VM-114	ICF114	114	41.5	2.5	17.5	mm

関連情報

同技術による浜松ホトニクスの製品と使用例


▲紫外用光電子増倍管	▲ビューイングポート使用例

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