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ナノ粒子の特性を有する機能性基板の製造には、ナノ粒子同士を凝集させない成膜（塗布）技術が不可欠です。ナノ粒子分散液の塗布が最も簡単な成膜法ですが、溶媒の乾燥過程で凝集が生じ、ナノ粒子の特性が損なわれる問題がありました。
『微粒子成膜装置 PDSシリーズ』は、静電スプレーの原理に基づき、ナノ粒子分散液を微液滴化し、且つ基板へ静電付着させることにより、凝集の無いナノ粒子の成膜（塗布）を実現しました。基板への付着場所は電動ステージで制御できるため、局所もしくは全面への成膜が可能です。マスクを用いれば、パターニングもできます。なお、本装置はナノ粒子のみならず液体材料の成膜にも利用できます。
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