光干渉式膜厚測定装置　Optical NanoGauge

分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。20nm〜50μmの薄膜の厚みをリアルタイムで高精度に測定します。薄膜サンプルに対して白色光を照射し、その表面と基板との界面からの反射スペクトルをカーブフィッティング法、またはFFT（高速フーリエ変換）により解析し短時間で膜厚を測定します。検出器には、電子冷却型マルチチャンネル検出器PMAを採用し、高感度・高精度に計測が可能です。マクロ計測用（C10178）とミクロ計測用（C10323）を用意し、幅広い用途に対応します。

製品カタログ（PDF674KB）

製品説明

特　長
●  20nm〜50μmの薄膜を測定
●  オリジナル解析アルゴリズムにより高速・高精度な解析が可能
●  リアルタイム計測可能
●  リモート通信機能により、外部装置との通信が可能
●  高分解能・高安定性