Optical NanoGauge （光干渉式膜厚測定装置）

分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。薄膜サンプルに対して白色光を照射し、その表面と基板との界面からの反射スペクトルをカーブフィッティング法、またはFFT（高速フーリエ変換）により解析し短時間で膜厚を測定します。検出器には、電子冷却型マルチチャンネル検出器PMAを採用し、高感度・高精度に計測が可能です。マクロ計測用（C10178）とミクロ計測用（C10323）をラインアップし、幅広い用途に対応します。

製品カタログ（PDF674kB） 詳しい情報は膜厚測定・形状計測の専用サイトへ

製品説明

特　長
●  オリジナル解析アルゴリズムにより高速・高精度な解析が可能
●  リアルタイム計測可能
●  リモート通信機能により、外部装置との通信が可能
●  高分解能・高安定性
●  マッピング機能対応
●  試料の光学定数測定が可能