Optical MicroGauge（厚み計測装置）

C8125-01は、非接触でガラス、フィルムなど各種試料の厚みを計測する装置です。厚さ10μm〜700μmをリアルタイムで高精度に測定します。近赤外光 (波長1.3μｍ) を試料に照射し、その反射光を解析することにより、試料の厚みを非接触で計測します。光学式の非接触計測ですので、大切な試料を傷つけることなく、再現性の良い高精度な計測を行うことができます。この光の干渉を利用した計測では、保護フィルムやパターンの影響を受けずにウェーハ自体の厚みを計測することが可能です。

製品カタログ（PDF152KB）

製品説明

特　長
●  非接触計測により試料を傷つけません
●  フィルム、ガラス、半導体ウェーハなど多様な試料の計測が可能
●  厚み分布計測が可能（オプション）
●  製造工程のインラインモニタが可能