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DVDやCDピックアップLDのビーム径、強度分布、楕円率等を高分解能で解析します。CDやDVD装置に用いられるピックアップからのビームは、集光位置でφ0.3 μm程度にまで絞られています。こうした微小ビームを計測するには、高倍率の拡大光学系が必要です。光ピックアップビーム測定システムは、拡大倍率2000倍の光学系(NFP光学系A4859-02)を用いてピックアップからの微小ビームを正確に計測するシステムです。対応波長範囲は、400 nmから780 nmですので、従来のCD・DVDピックアップだけでなく、次世代の青色LDを用いたピックアップまで計測が可能です。高拡大倍率の光学系で生じる位置合わせの困難さは、計測光路と同軸上に倍率25倍の位置合わせ光路を設けることにより解決し、迅速な計測を行うことが可能です。
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