MSM(Metal-Semiconductor-Metal)フォトディテクタは、超高速応答を実現した受光素子です。超高速素子としては受光面サイズを比較的大きくとれるため、光学系との結合が容易で、光通信のデジタル信号用の受光素子として大きな可能性を持っています。また、正負いずれのバイアス電圧も印加可能で、それに応じた極性のパルス出力が得られます。
MSMフォトディテクタの受光部は、くし形のショットキ電極を左右対称に形成することにより作製されています。超高速素子としては受光面サイズを大きくとれるため、光学系との結合が容易で、高速波形計測のほか、光通信用受光素子としても大きな可能性を持っています。
また、正負いずれのバイアス電圧も印加可能で、それに応じた極性のパルス出力が得られます。 |
