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空間ビーム計測システムは、紫外域から可視域の空間ビーム分布などのビーム特性を計測するシステムです。FOPスクリーン光学系システムとエキシマレーザ用光学系システムをラインアップしています。可視の空間ビームを計測するFOPスクリーン光学系システムは、数ミクロンの光ファイバを束にした光学デバイスであるFOP（ファイバオプティクスプレート）を仮想スクリーンとして可視域の空間光ビームを投影させ、その透過像をデジタルCCDカメラで測定します。また、エキシマレーザやＮ2レーザなど紫外ビームを計測するエキシマレーザ用光学系システムは、入射部に蛍光ガラスを配置し、そこで紫外光を可視光に変換してデジタルCCDカメラで測定します。
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