エミッション顕微鏡

　エミッション顕微鏡「PHEMOSシリーズ」は、半導体デバイス動作に伴い発生する微弱な発光を検出することで、故障箇所を特定する半導体故障解析装置です。メモリデバイスやロジックデバイスをはじめ、パワーデバイスやフラットパネルディスプレイまで対象製品を問いません。また、設計段階の不良解析からフィールドでの不具合品の解析まで幅広く利用できます。

製品カタログ(PDF1.2MB)

製品説明

特　長
●IRコンフォーカルレーザ顕微鏡  搭載
●NIRカメラ搭載による低電圧サンプルの高感度観察
●OBIRCH解析機能  搭載
●NanoLensによる高解像度・高感度観察
●300  mmダブルサイドセミオートプローバ  搭載可能
●高位置決め高剛性プラットホーム

用　途
●ESD破壊箇所の特定
●CMOS等のラッチアップ解析
●ショートやオープンによるFETの貫通電流
●LOCパッケージや多層メタル配線下の故障解析
●OBIRCH法による配線不良解析
●フラットパネルディスプレイの故障解析