半導体・FPDの故障検出・解析

半導体デバイス内部で起こる異常現象により発生する発光、発熱、電気的変化をとらえて画像化・解析するシステムです。

半導体の故障解析結果を現場にすばやくフィードバックするための支援を行います。

光学式により、非接触で試料を傷つけることなく、高精度に厚みを計測します。

白色干渉法を用いた三次元形状計測装置です。MEMSデバイスの各面の平坦度や深さ形状、バンプ間隔などの形状・断層・段差を非接触で高精度に計測します。

半導体製造工程でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、プロセス中のプラズマ発光をリアルタイムでモニタします。

シリコンを透過する赤外線照明と近赤外領域に感度を有するカメラとを用い、半導体デバイス内部を観察します。

フォトルミネッセンス法により、発光（蛍光）材料の絶対発光量子収率を測定します。有機ELの研究や製造分野における材料開発からデバイス開発までさまざまなニーズに対応いたします。C9920シリーズは、マルチチャンネル検出器を採用し、発光量子収率や外部量子効率、配光分布や輝度の測定が可能です。

エミッション顕微鏡技術を用いて、有機ELパネルの異常発光箇所を検出し、レーザを照射してリペアします。