有機EL欠陥リペア装置

　エミッション顕微鏡技術を用いて、有機ELパネルの異常発光箇所を検出し、レーザを照射してリペアする装置です。
　ELパネルの異常発光はリークが主原因であり、逆バイアスを印加することにより、リーク箇所のみから微弱な発光が起こります。この発光を超高感度カメラを使用して、最大26mmx26mmの広視野で捉え、リーク箇所のみにレーザ光を照射してリペアします。リークは通常、画素と比較して小さな領域で発生しているために、リーク部分をレーザリペアしても画素全体が破壊されることはありません。

製品説明

特　長
●  最大26mmx26mmの広視野観察
●  リーク箇所に合わせたリペア領域の自動調整
●  複数リーク箇所を自動検出、自動リペアのシーケンス動作可能
●  リーク電流を測定することにより、合否を自動判定