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ステルスダイシング技術

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ステルスダイシング技術は、浜松ホトニクスが開発した、「レーザを用いた全く新しいダイシング技術」です。浜松ホトニクスがこれまで世に送り出してきたレーザ加工装置やIC薄膜除去装置などで培ってきたレーザ技術、光学系技術の集大成ともいえるのがステルスダイシング技術であり、この技術をダイシング装置搭載用にユニット化したものがステルスダイシングエンジンです。

	技術資料 (2009 kB) 技術資料 for MEMS (2180 kB)


	製品説明動画ギャラリー


	製品説明

浜松ホトニクス | ステルスダイシング技術 お知らせ

2007年7月19日（木）　ステルスダイシング装置ユーザ対象のWEBを利用した技術支援サービス開始！

ステルスダイシング（SD）の技術情報をWEB サイトにて公開します（英語・日本語同時公開）。また、ステルスダイシング装置ユーザに限定して、各々のデバイスに適したダイシング時の加工レシピを、WEB サイト上で情報提供するサービスを開始します。
このサービスをご利用いただくことで、新しい対象デバイスのダイシング要求が生じても、簡単に新しい加工レシピを導き出すことができ、作業者の加工レシピ開発の効率化を支援します。同技術を開発する過程で蓄積した加工に関する多くのノウハウは全てデータベース化されており、ウェーハの厚さや構造、チップサイズなど、各デバイスに適した加工レシピを専用WEB サイト経由で提供することが可能になります。

→ ステルスダイシングWEBサイトはこちら

概要

「ステルスダイシング技術」は、シリコンウェーハの内部にレーザを照射して任意の位置に改質層を形成させ、テープエキスパンドなど外部応力を加えることにより、ウェーハ表面に亀裂を成長させてチップを小片化するカッティング技術です。ステルスダイシングでは光学系及びレーザ特性の最適化により、半導体ウェーハ内部でのみ局所的・選択的にレーザ改質を行うため、ウェーハの表面や裏面、またはウェーハ裏面のダイシングテープなどにダメージを与えることがありません。一般的なブレードダイシングで問題となるチッピングは裏面、表面ともに一切無いため抗折強度の強いチップに仕上げる事が可能です。さらに切削加工と異なり発塵などの飛散もないためデバイス汚染を生じません。

半導体製造においてウェーハはサイズ的には大型化をたどる一方、その厚さは非常に薄型となっています。1枚のウェーハからいかに多くのチップを切り出せるか、あるいは高機能を有した集積回路をいかに傷付けずに切り出せるか、ダイシング工程は最終製品が小型・高性能になればなるほど過酷な条件を課せられます。ステルスダイシングはこの過酷な条件をクリアするための必須技術です。プロセスと呼ばれる通り各工程は「一連の流れ」であり、その中のダイシング工程がドラスティックに変化することはプロセス全体への影響を懸念します。しかし時代の要求はすでに薄型ウェーハでなければ達成しえない小型・高性能な半導体最終製品であり、市場ニーズがステルスダイシングの浸透を後押ししていると言っても過言ではありません。アジアを皮切りに、欧米、日本へとステルスダイシングエンジンを搭載したダイシング装置の導入は着実に進んできています。

ステルスダイシングの環境性能

▲ステルスダイシングエンジン商標

ステルスダイシングエンジン搭載装置は消費電力を68％削減可能（一定加工条件下）、さらに完全ドライプロセスである特徴から純水を必要とせず、純水製造・排水等まで考慮すると消費電力を77％削減可能となり、2007年2月には「優秀省エネルギー機器／日本機械工業連合会会長賞」を受賞しました。この受賞の意味するところはまさにステルスダイシングエンジン搭載装置を導入する半導体製造メーカーの「エネルギー・環境面への配慮」を示唆するものであり、ダイシング工程がステルスダイシングであることは、環境負荷軽減の一翼を担いつつ半導体製品を製造しているという、半導体製造メーカーのアピールポイントでもあります。

特許について

■米国
特許第6992026等計2件
他45件特許出願中
■日本
特許第3408805号、特許第3626442号、特許第3761565号、特許第3761567号、特許第3761566号、
特許第3624909号、特許第3670267号、特許第3790254号、特許第3822626号、特許第3762409号、
特許第3867003号、特許第3867107号、特許第3867109号、特許第3867110号、特許第3867101号、
特許第3867102号、特許第3867103号、特許第3867100号、特許第3867104号、特許第3867105号、
特許第3869850号、特許第3751970号、特許第3867108号、特許第3935187号、特許第3935188号、
特許第3990710号、特許第3935186号、特許第3935189号、特許第3990711号、特許第4050534号等
計35件
他126件出願中
■台湾
特許第I250060、I270431、I289890、I278027等計8件
他38件出願中
■ヨーロッパ
特許第1632997等計2件
他37件出願中
■大韓民国
特許第KR10-0667460、特許第KR10-0715576、特許第KR10-0749972、特許第KR10-0766727、
特許第KR10-0781845等計9件
他32件出願中
■中華人民共和国
特許計4件、他40件出願中
■他にタイ、マレーシア、インド、フィリピン、シンガポール、イスラエル等へ出願中
（2008年3月1日現在）

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ステルスダイシングの特長・原理

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