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半導体デバイスでは、微細化・多層化が進み、光学的に十分な空間分解能を得ることが難しく解析が困難になりつつあります。浜松ホトニクスでは、これらの課題を解決するため故障解析装置に加え、新たに故障解析支援システムFA-Navigationを開発しました。
従来、多数の発光を伴う故障の絞り込みや光学系の分解能を超えた微細なサンプルでの位置特定は、非常に手間を要するものでした。FA-Navigationは、故障箇所の絞り込み作業を効率的に行い、故障原因を解明するまでにかかる時間の短縮に貢献します。また、FA-Navigationは、比較的低倍率での解析が有効であるため、空間分解能が不足しがちな次世代のLSIに対しても効果が期待でき、今後の故障解析において必要不可欠な新しい解析手法として期待されています。（特許出願中）
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