半導体故障検出・製造支援

半導体デバイス内部で起こる異常現象により発生する発光、発熱、電気的変化をとらえて画像化・解析するシステムです。

半導体の故障解析結果を現場にすばやくフィードバックするための支援を行います。

シリコンを透過する赤外線照明と近赤外領域に感度を有するカメラとを用い、半導体デバイス内部を観察します。

ステルスダイシング技術は、浜松ホトニクスが開発した、「レーザを用いた全く新しいダイシング技術」です。この技術をダイシング装置搭載用にユニット化したものがステルスダイシングエンジンです。

フォトイオナイザは、クリーンなイオン生成方式「Photoionization（光電離）」を利用した静電気除去装置です。従来のコロナ放電方式とは違い、「塵や電磁ノイズ、オゾン」の発生しないクリーンな除電です。また、イオン生成バランスが均等であるため、逆帯電を起こすことがありません。