プラズマプロセスモニタ

　C10346は、半導体製造工程の中でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、プロセス中のプラズマ発光を広帯域にリアルタイムで検出する装置です。各種解析機能により、「エッチングやクリーニングの終点判定条件設定や自動判定」、「プラズマ種推定」、「混入不純物や異常放電の監視」等に利用できます。

製品説明

特　長
●  広帯域スペクトルを同時測定
●  リアルタイムでプロセスをモニタ
●  高精度かつ高信頼性の計測
●  紫外光領域の高感度検出
●  光ファイバで容易な計測
●  マルチチャンバ対応
●  データ計測ソフトウエア
●  オプションソフトウエア

用　途
●  エッチング終点検出
●  プロセス条件の最適化
●  プラズマ種推定
●  クリーニングサイクルの最適化