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製品情報 > LED、レーザ、光源(ランプ） > 高輝度真空紫外光源ユニット > 高輝度真空紫外（VUV）光源ユニット

高輝度真空紫外（VUV）光源ユニット

L10366

新しい真空紫外光源ユニットです。「MgF2窓付き高輝度重水素ランプ」を内蔵し、輝度は約4倍高くなりました（当社従来品比）。空冷式と、真空フランジ取り付け部を採用したことにより、使い易さが格段に向上しました。

	L10366, L10388 (PDF 430kB)


	製品説明


	製品説明

高輝度真空紫外（VUV）光源ユニット L10366シリーズ特長

■高輝度：約4倍（当社従来品比）
■115 nmからの高い真空紫外線強度
■空冷（冷却水不要）
■外部制御可能（ランプのON / OFF、ランプ点灯ステータスシグナル）
■光軸調整不要

用途

■分光光度計、蛍光光度計
■半導体ウェーハ、液晶パネルなどの静電気除去
■光イオン化検出器（PID）
■紫外線による材料耐性評価
■光CVD（光気相成長）
■励起用光源

輝度分布（at 230 nm）

構成品

仕様

点灯初期における発光波長分布（真空紫外領域）

リプレイス光源

外形寸法図（単位：mm）

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高輝度真空紫外（VUV）光源ユニット

L10366

製品説明