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製品情報 > LED、レーザ、光源(ランプ） > 低エネルギー電子線照射源

低エネルギー電子線照射源

		EBエンジンは、フィラメントから生じた熱電子を高電圧で加速してエネルギーを高め、窓箔からその電子線を大気中に取り出します。出射窓には透過性の良い軽元素であるベリリウム箔を採用し、低エネルギーの電子線を効率よく照射することができます。ライン照射型低エネルギー電子線照射源EBエンジンは、加速電圧を40 kV〜70 kVまで可変でき、電子線をスキャンすることで150 mm幅試料への均一な電子線照射が可能です。照射源を並列配置することにより、300 mmウェーハや、更に幅広なフィルムなどへも一括照射が可能となります。

パンフレット (1010 kB)

EBエンジン低エネルギー電子線照射源　薄膜　改質　生産ラインに対応

→ 弊社にてデモルームを用意しております。電子線照射デモをご希望の方はお気軽にお問合せください。

用途

■半導体部材の改質（Low-k膜、レジスト）
■樹脂／フィルムの改質
■燃料電池用電解質膜の改質
■EBインキの硬化
■殺菌
■各種材料評価実験

ラインアップ

仕様

電子線照射源 EB-ENGINE

項目	ライン照射型	スポット照射型	単位
外形寸法（W x D x H）	350 x 300 x 665	300 x 400 x 420	mm
加速電圧範囲	40 ～ 70	40 ～ 110	kV
電流範囲	0 ～ 4.2	0 ～ 0.2	mA
質量	約 31	約 30	kg

電子線照射装置

項目	ライン照射型	スポット照射型	単位
外形寸法（W x D x H）	720 x 1130 x 1820　（PC部を除く）	540 x 775 x 1400　（PC部を除く）	mm
照射可能試料サイズ (W x D)	150 x 150	50 x 100	mm
ステージ速度	0 ～ 400	0 ～ 400	mm/s
照射距離	10 ～ 70	10 ～ 20	mm
照射方向	垂直下向き		-
照射雰囲気	窒素ガス 1　（酸素濃度：100 ppm以下に対応 2）		-
照射線量（参考）	40 *3	220 *4	kGy
供給電源	AC 100 V、15 A、50/60 Hz		-
漏れX線量	自然放射線レベル以下		-
質量	約 430	約 330	kg

*1 : 加熱機構をご要望の場合はご相談ください。
*2 : 窒素発生器をオプションで用意しております。
*3 : 加速電圧 60kV、電流 4.2mA、照射距離 10mm、ステージ速度 500mm/s、偏向周波数 200Hz
　　　（FWT社製ラジオクロミックフィルムにて吸収線量測定）
*4 : 加速電圧 110kV、電流 0.2mA、照射距離 20mm、ステージ速度 50mm/s
　　　（FWT社製ラジオクロミックフィルムにて吸収線量測定）

ライン照射型応用例

照射源を並列配置することにより、300mmウェーハや、さらに幅広なフィルムなどへも一括照射が可能です。

半導体ウェーハ（Low-k膜）改質

フィルムの改質／EBインキ乾燥

この資料に掲載してある技術情報は、製品の代表的な動作・応用を説明するもので、その使用に際して当社および第三者の
工業所有権その他の権利に対する保証、または実施権の許諾を行うものではありません。

EB照射による改質事例

　樹脂等の表面改質　ぬれ性向上（接触角測定）

ご注意
本電子線照射源は、電子線照射時に副次的にX線が発生します。装置に組み込んでご利用される場合は、電離放射線障害防止規則に則り遮蔽機構を設けて、設置30日前までに所轄の労働基準監督署長に届出が必要になります。
当社製電子線照射装置は適正な防護が施されておりますので、届出のみ必要となります。
遮蔽及び設置に際しての届出に関しては適切なアドバイスをさせていただきます。

EB-ENGINE、EBエンジンは浜松ホトニクス株式会社の登録商標です。

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