浜松ホトニクスは、昨年１２月に発表した円照射型「ＥＢエンジン」に引き続いて、生産ライン向けに照射幅を１５ｃｍにした、低エネルギーのライン照射型電子線照射源「ＥＢエンジン」を開発しました。半導体プロセスでの薄膜材料の改質や、印刷のインキ硬化などの生産ライン向けに製品化を進め、来年４月の発売を予定しています。

なお、１２月５日から幕張メッセ（千葉県千葉市）で開催される世界最大の半導体製造装置・部品材料の国際展示会「セミコン・ジャパン２００７」に参考出展します。