浜松ホトニクスは、加速電圧を４０ｋＶから１１０ｋＶと広い範囲に設定でき、薄膜材料の改質効率の向上と、小型・軽量、長寿命を実現した、低エネルギーの電子線照射源「ＥＢエンジン」を開発しました。半導体プロセスや携帯機器用燃料電池などの研究開発向けに製品化を進め、来年４月の発売を目指します。これにより、薄膜材料の材質・厚み・目的に応じて広範囲な処理が可能になり、新しいプロセスを提供します。

なお、「ＥＢエンジン」を搭載した電子線照射装置は、１２月６日から幕張メッセ・国際会議場（千葉県千葉市）で開催される半導体製造装置・材料に関する世界最大の国際展示会「セミコン・ジャパン２００６」に参考出展します。