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独立行政法人科学技術振興機構の静岡県地域結集型共同研究事業で
正確な深さの微細な穴あけ加工を実現
フェムト秒レーザー加工における穴深度リアルタイム計測用の
プロト機を開発

2005年7月05日
財団法人 光科学技術研究振興財団
理事長 晝馬 輝夫

当財団は、フェムト秒レーザー*によるマイクロメートル単位の微細穴あけ加工中の穴深度を連続して計測することに世界で初めて成功し、研究成果の実用化に向けたプロト機を開発しました。これにより、加工精度や加工効率が向上し、制御性の高いフェムト秒レーザー加工が実現します。

*フェムト秒レーザー:
フェムトは1000兆分の1の単位で、光パルスが数10から数フェムト秒間照射されるレーザーのこと。一瞬の照射のため熱の影響が少なく、微細な穴あけ、切断などの加工に適している。


この研究成果は、独立行政法人科学技術振興機構(文部科学省所管)から静岡県が地域指定を受けた地域結集型共同研究事業の「超高密度フォトン(光子)産業基盤技術開発」で、「反応制御技術の開発」のなかの「非熱加工計測研究」によるものです。2000年12月より当財団が中核機関となり、コア研究室を静岡県浜松工業技術センター内に設けて研究を推進しています。



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