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低電圧化した先端LSIの動作タイミングを世界で初めて、2次元でダイナミックに解析する新製品「ピコ秒時間分解エミッション顕微鏡・TriPHEMOS」12月1日から開催の「セミコン・ジャパン2004」に出展
2004年11月
当社は、半導体デバイスの故障解析用のエミッション(発光)顕微鏡「PHEMOS(フィーモス)」シリーズに、低電圧化した先端LSIの動作タイミングを、世界で初めて2次元画像でダイナミックに解析する新製品「ピコ秒時間分解エミッション顕微鏡・TriPHEMOS(Time resolved Imaging emission microscope、トライフィーモス)」をラインナップし、来年1月20日から受注を開始します。尚、当製品は、12月1日(水)から幕張メッセ(千葉市)で開催される「セミコン・ジャパン2004」に出展します。
発表記事全文PDF
[57.8 KB]
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