VACUUM2006 第28回 真空展
出展レポート

2006年9月13日(水)から15日(金)までの3日間、東京ビッグサイトにて「VACUUM2006 第28回 真空展」が開催されました。
浜松ホトニクスは最新の「プラズマプロセスモニタ C7460」と「超高真空合成石英ビューイングポート」を出展いたしました。
製品に関するお問い合わせは、どうぞお気軽にお寄せ下さい。

プラズマプロセスモニタ C7460

プラズマ中の各種ラジカル・イオンを瞬時にモニタする装置です。
エッチング終点判定やプラズマプロセス状態監視、リーク検出、ガス消費の低減、フィードバック制御による安定化等、研究開発から量産ライン運用まで対応し、将来のAPCにも最適です。

超高真空合成石英ビューイングポート

浜松ホトニクスの真空管製造技術による、新しいタイプの超高真空用ゼロレングス合成石英ビューイングポート（覗き窓）です。
フランジと窓材が非常にクリーンな拡散接合で行われており、超高真空はもちろん、極高真空にも充分対応できる仕様となっております。また、耐熱、透過率を重視した仕様にも対応できます。