nano tech 2009
国際ナノテクノロジー総合展・技術会議
展示会レポート

2009年2月18日(水)から20日(金)までの3日間、東京ビッグサイト(東京都江東区有明)にて「nano tech 2009 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議」が開催され、弊社では光照射式静電気除去装置「フォトイオナイザ」、ライン照射型 低エネルギー電子線照射源「EBエンジン®」・「SEM・TEMサンプルプレパレーション装置」等を出品いたしました。
会期中は多数のご来場を頂き、誠にありがとうございました。出展製品に関してご質問・ご要望等ございましたら、どうぞお気軽にお問い合わせください。
今後も各製品のラインアップの充実を図り、お客様のニーズにお応えしてまいります。

光照射式静電気除去装置 フォトイオナイザ

クリーンなイオン生成方式「Photoionization（光電離）」を利用した静電気除去装置
従来のコロナ放電方式とは違い、「塵や電磁ノイズ、オゾン」の発生しないクリーンな除電です。また、イオン生成バランスが均等であるため、逆帯電を起こすことがありません。

ライン照射型 低エネルギー電子線照射源 EBエンジン®

大気中に低エネルギー電子線を照射する電子線照射源「EBエンジン®」
ライン照射型低エネルギー電子線照射源EBエンジンは、加速電圧を40 kV〜70 kVまで可変でき、電子線をスキャンすることで150 mm幅試料への均一な電子線照射が可能です。照射源を並列配置することにより、300 mmウェーハや、更に幅広なフィルムなどへも一括照射が可能となります。

SEM/TEMサンプルプレパレーション装置

凝集のないナノ材料の基板固定が可能！SEM・TEMの観察用基盤を簡便に作製
従来の観察基板に分散液を塗布・乾燥する方法では、ナノ材料が凝集体となってしまうため、個々の状態を把握することは困難でした。『SEM/TEMサンプルプレパレーション装置』は、静電スプレーの原理を応用してナノ材料を基板上に固定し、走査型電子顕微鏡(SEM)や透過型電子顕微鏡(TEM)による観察を容易にします。

ドロップレットアナライザ

微液滴(fL〜pL)の接触角・ぬれ拡がりを評価！液滴径を可変したデータ収集が可能
静電式の微量分注と高速度カメラによる撮影を組み合わせ、短時間で変化していく微液滴の画像から接触角やヌレ広がりの幅を測定できます。また、基板を移動しながら多数の液滴を形成する、あるいは液滴体積を変更するなどの動作を自動的に実行し、液滴物性(接触角、ヌレ広がりの幅)の統計的評価を行ないます。