nano tech 2008
国際ナノテクノロジー総合展・技術会議
展示会レポート

2008年2月13日(水)から15日(金)までの3日間、東京ビッグサイト(東京都江東区有明)にて「nano tech 2008 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議」が開催され、弊社では静電気除去装置「フォトイオナイザ」、ライン照射型電子線照射源「EBエンジン®」・「微粒子成膜装置」などを出品いたしました。
会期中は多数のご来場を頂き、誠にありがとうございました。出展製品に関してご質問・ご要望等ございましたら、どうぞお気軽にお問い合わせください。
今後も各製品のラインアップの充実を図り、お客様のニーズにお応えしてまいります。

静電気除去装置 フォトイオナイザ

クリーンなイオン生成方式「Photoionization（光電離）」を利用した静電気除去装置
従来のコロナ放電方式とは違い、「塵や電磁ノイズ、オゾン」の発生しないクリーンな除電です。また、イオン生成バランスが均等であるため、逆帯電を起こすことがありません。

ライン照射型電子線照射源 EBエンジン®

大気中に低エネルギー電子線を照射する電子線照射源「EBエンジン®」
ライン照射型低エネルギー電子線照射源EBエンジンは、加速電圧を40 kV〜70 kVまで可変でき、電子線をスキャンすることで150 mm幅試料への均一な電子線照射が可能です。照射源を並列配置することにより、300 mmウェーハや、更に幅広なフィルムなどへも一括照射が可能となります。

微粒子成膜装置 PDS-01

凝集の無い微粒子成膜(塗布)が可能！
静電スプレーを利用した微粒子の成膜装置です。
静電スプレーの原理に基づき、ナノ粒子分散液を微液滴化し、かつ基板へ静電付着させることにより、凝集の無いナノ粒子の成膜(塗布)を実現しています。

極微量液滴形成装置 ODS-01

高粘性溶液の微量分注(pL～fL)が可能！
静電力を利用した極微量液滴形成装置です。
パルス電圧を調節する事により、試料をジェット流として液滴化することができます。
今まで微液滴化できなかった樹脂やグリセリンなどの高粘性試料に適応できます。

SEM/TEM用サンプルプレパレーション装置

ナノ材料が凝集しない電子顕微鏡用の観察基板を作製
ナノ材料を凝集させずに一つずつ付着させ走査型・透過型電子顕微鏡用の観察基板を作製する装置です。
個々の粒径や形状などの観察が容易になり、新しい機能性材料の特性評価や製造法の確立を促進すると期待されます。