第18回マイクロマシン/MEMS展
浜松ホトニクスブースのご案内

2007年7月25日(水)から27日(金)までの3日間、東京ビッグサイトにて「第18回マイクロマシン/MEMS展」が開催されました。同展は、世界最大規模のマイクロマシン/MEMS（微小電気機械システム）、ナノテクノロジー、超精密・微細加工、バイオに関する専門見本市です。
浜松ホトニクスは今年も、マイクロマシン技術を支援する、新しいレーザダイシング技術「ステルスダイシング」と静電気除去装置「フォトイオナイザ」をご紹介いたしました。

会期中は多数のご来場を頂き、誠にありがとうございました。出展製品に関してご質問・ご要望等ございましたら、どうぞお気軽にお問い合わせください。
今後も各製品のラインアップの充実を図り、お客様のニーズにお応えしてまいります。

ステルスダイシング技術

完全ドライの次世代カッティング技術！「ステルスダイシング」
「ステルスダイシング」は、ダイシング工程の完全ドライプロセス化を実現した、全く新しい概念のレーザダイシング技術です。
洗浄水やコンタミネーションから、脆弱な構造体を保護する設計上の制約を完全排除し、MEMSデバイスのダイシング工程の問題を解決します。
既に、同装置は自動車や携帯電話向けのMEMSデバイスの量産工場で運用が始まっています。

フォトイオナイザ(光照射式静電気除去装置)

フォトイオナイザは、クリーンなイオン生成方式「Photoionization（光電離）」を利用した静電気除去装置です。
従来のコロナ放電方式とは違い、「塵や電磁ノイズ、オゾン」の発生しないクリーンな除電です。また、イオン生成バランスが均等であるため、逆帯電を起こすことがありません。