第17回マイクロマシン展
浜松ホトニクスブースのご案内

2006年11月7日(火)から9日(木)までの3日間、東京国際フォーラムにて「第17回マイクロマシン展」が開催されました。
マイクロマシン/MEMS（微小電気機械システム）、ナノテクノロジー関連は、半導体・電子機器製造業のみならず、情報通信や生命科学、材料、環境といったきわめて多くの産業に波及効果がある将来性の高いモノづくりであり、現在の技術の「壁」を打ち破る次世代技術として高い注目を集めています。

浜松ホトニクスは、マイクロマシン技術を支援する、新しいレーザダイシング技術「ステルスダイシング」と除電装置「フォトイオナイザ」をご紹介しました。
製品に関するお問い合わせはお気軽にお寄せ下さい。

フォトイオナイザ(光照射式静電気除去装置)

フォトイオナイザは、クリーンなイオン生成方式「Photoionization（光電離）」を利用した静電気除去装置です。
従来のコロナ放電方式とは違い、「塵や電磁ノイズ、オゾン」の発生しないクリーンな除電です。また、イオン生成バランスが均等であるため、逆帯電を起こすことがありません。

ステルスダイシング技術

完全ドライの次世代カッティング技術！「ステルスダイシング」
「ステルスダイシング」は、ダイシング工程の完全ドライプロセス化を実現した、全く新しい概念のレーザダイシング技術です。
洗浄水やコンタミネーションから、脆弱な構造体を保護する設計上の制約を完全排除し、MEMSデバイスのダイシング工程の問題を解決します。
既に、同装置は自動車や携帯電話向けのMEMSデバイスの量産工場で運用が始まっています。