第18回 ファインテック・ジャパン
出展レポート

2008年4月16日(水)から18日(金)までの3日間、東京ビッグサイトにて「第18回ファインテック・ジャパン」が開催されました。同展は日本をはじめ世界各国のフラットパネル(FPD)メーカーや関連企業が出展する、FPD業界世界最大の展示会で、浜松ホトニクスでは最新のカメラ製品、測定装置群を出品いたしました。
会期中は多数のご来場ありがとうございました。製品に関するお問い合わせは、どうぞお気軽にお寄せ下さい。

光照射式静電気除去装置 フォトイオナイザ

クリーンなイオン生成方式「Photoionization（光電離）」を利用した静電気除去装置
従来のコロナ放電方式とは違い、「塵や電磁ノイズ、オゾン」の発生しないクリーンな除電です。また、イオン生成バランスが均等であるため、逆帯電を起こすことがありません。

静電気除去装置 防爆型フォトイオナイザ L9499

防爆構造規格ExdⅡBT5に適合した防爆型の静電気除去装置
防爆型フォトイオナイザは、筐体の構造及びケーブルの接続部を関連規格に適合するように開発いたしました。有機溶剤等を使用する半導体・液晶製造装置内では、発火性ガスが発生するため防爆構造の装置が望まれています。

UV-LEDスポット光源 LC-L1

365nmのUV-LEDを搭載した光源です。
単色光源であり、熱やDUV光による照射物への影響・ダメージがありません。低消費電力で環境にもやさしい光源です。
LEDの寿命は30,000時間と長く、ランプ交換によるライン停止時間を少なくできます。
ランプ技術と半導体技術を凝縮した光源です。

スポット光源 LC8

ランプから放射される光をライトガイドに集光し、強力な光を出力します。
紫外光を出力するタイプと可視光を出力するタイプを用意しています。紫外線接着剤の硬化用光源として、光学部品の接着、FPD工程、UVインクの硬化等で使用されています。

紫外線積算光量計 C8026

紫外〜真空紫外域での絶対値光量管理(mW/cm²)を可能にする紫外線積算光量計です。
エキシマランプ・低圧水銀ランプを利用した表面改質やUV殺菌・UV接着・露光装置等のNIST標準光量管理を実現します。センサヘッドは波長に応じて6種類を用意しています。

紫外線積算光量計 C9536/H9535

フィルタレスで特定波長の紫外光を直接検出できる紫外線積算光量計。
センサヘッドには、長寿命・高安定な光量計測を可能にするUVセンサ（光電管）を使用し、コントローラと合わせ、NIST標準に基づき校正を行っています。
センサヘッドを分離させ、ベルトコンベアに流しての計測、ケーブルの取り回しが困難な場所での計測も可能です。

APイメージャカメラ C9720

Siウェーハ、LCD、光学ガラス、金属塗装面などの表面の肉眼では見えない微小な形状欠陥や埃の有無の検査に適した特殊カメラ
半導体、LCD製造工程の発塵源の特定などを目的とした空気中の微粒子可視化などにも応用されます。
撮像素子として、放送用高感度カメラに採用されているAP (Avalanche Photo-diode)イメージャを使用しています。APイメージャは、紫外域から可視域において高感度、高SN比、ワイドダイナミックレンジ等の特長を有します。これにリアルタイム微分処理機能を付加することにより、肉眼をも上回る検出能力を可能にしました。

ミニ分光器

ミニ分光器は、グレーティングなどの光学素子・イメージセンサ・駆動回路をコンパクトにまとめた、小型で低価格の分光器です。
当社では、「感度波長範囲」「感度」「波長分解能」の異なる18種類のミニ分光器を用意しています。

RGBカラーセンサ／デジタルカラーセンサ

RGB-LED型バックライトの光量モニタや各種色検出用
従来、液晶ディスプレイのバックライトは冷陰極管が主流でしたが、水銀フリー化、色再現性の向上を目的としてRGB-LED化が進んでいます。当社ではRGB-LED型バックライトの光量モニタ、各種色検地用のRGBカラーセンサを製品化しています。表面実装型の小型タイプやRGB3色を同時に計測する 12ビットデジタル出力のCMOSデジタルカラーセンサを用意しています。

照度センサ

視感度に近い分光感度特性
PDP、液晶などの大画面TVや携帯電話のディスプレイの調光、低消費電力化を目的として照度センサが注目されています。以前は調光用センサとしてはCdSセルが使用されていましたが、環境の点からSi系の照度センサが注目されています。
当社では、CdSと同様形状のヘッドオンタイプ、小型安価な表面実装型のフォトICダイオードなど視感度に近い分光感度特性をもったSi系の照度センサを用意しています。また照度を周波数に変換しマイコン直結可能としたデジタル出力タイプもございます。

輝度配光特性測定装置 C9920-11

発光角度ごとの輝度・発光スペクトル・色度座標測定が可能
電流(または電圧)を供給した有機ELサンプルを回転ステージに設置し、設定ステップ角度ごとの発光輝度、スペクトル、発光角度分布を測定します。測定結果は、ポーラプロットによる発光角度分布、電流密度(または電圧)-輝度や発光スペクトル、色度等のグラフ表示が可能で、ランバーシアン仮定による外部量子効率の結果も測定できます。

Optical NanoGauge（光干渉式膜厚測定装置）C10178/C10323

分光干渉法を利用し、非接触・高精度で膜厚を測定
20 nm～50 μmの膜厚を簡単操作で非接触・リアルタイムで測定。
ファイバ光学系を利用した反射光学系により、インライン測定にも対応可能なマクロ計測用（C10178）と微小領域測定に適したミクロ計測用（C10323） を用意しています。

マルチチャンネル分光器 PMA-12

分光器と検出器をコンパクトに一体化した分光測光装置
集光に光ファイバを採用することで簡単に測定(多波長同時計測)が可能です。
有機ELや蛍光体のスペクトル測定、光学薄膜製造過程のインラインモニタ、FPDの発光スペクトル/輝度/色度測定、光学フィルタの特性評価等に用いられます。USB2.0インターフェースの採用で、より使い易くなりました。

有機EL欠陥リペア装置

有機ELパネルの異常個所を検出し、レーザを照射してリペア
ELパネルの異常発光の主原因であるリークをエミッション顕微鏡技術を用いて検出し、リーク箇所のみにレーザ光を照射してリペアします。
リークは通常、画素と比較して小さな領域で発生しているため、リーク部分をレーザリペアしても画素全体が破壊されることはありません。

発熱画像解析装置 THEMOS mini

サーマルロックイン計測により熱源検出精度を向上
新開発の高感度赤外検出器（InSb）で検出した発熱画像とパターン画像を重ね合わせ表示することにより、高感度かつ高い位置精度で故障箇所を迅速に特定します。半導体材料・PCボードなどマクロ視野観察から半導体素子のミクロ視野観察まで多岐にわたる発熱解析のエントリーモデルとして最適です。

プラズマプロセスモニタ C7460

低開口プラズマエッチングの終点検出と異常検出
半導体製造工程の中でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、プロセス中のプラズマ発光スペクトルをモニタする装置です。