第16回 ファインテック・ジャパン
出展レポート

2006年4月19日(水)から21日(金)までの3日間、東京ビッグサイトにて「第16回ファインテック・ジャパン」が開催されました。同展は液晶・プラズマ・有機EL・FED・SED・VFD・タッチパネル ディスプレイなどあらゆるフラットパネル ディスプレイが一堂に集まった国際展でした。
浜松ホトニクスは、この度ADY2006(アドバンスト ディスプレイ オブ ザ イヤー2006)で検査・リペア・測定部門「グランプリ」を受賞した「APイメージャカメラ」をはじめ、最新のカメラ製品、測定装置群を出展いたしました。

マルチチャンネル検出器 PMA-11

冷却型CCDセンサの採用により、瞬時に高感度スペクトル測定が可能。
小型分光器と光検出器を一体化した、コンパクトな分光測光装置です。集光には、有効受光径Φ1mmの光ファイバ入力を採用し、容易な測定を実現しました。高感度なため、通常の用途においては特別な集光光学系なしでも、光ファイバを試料に接近させるだけで簡単に分光スペクトルが得られます。さらに、各種オプション製品を追加することで、膜厚測定、光学薄膜モニタ、輝度／色度測定など、様々な用途に対応します。

液晶画面の輝度・色度・スペクトル測定の実演を行いました。

有機EL輝度配光特性測定装置 C9920-11

回転ステージを用いて、発光角度ごとの輝度、発光スペクトル、色度座標などの測定が可能！
電流（または電圧）を供給した有機ELサンプルを回転ステージに設置し、設定ステップ角度ごとの発光輝度、スペクトル、発光角度分布を測定する装置です。測定結果は、ポーラプロットによる発光角度分布、電流密度（または電圧）- 輝度や発光スペクトル、色度等のグラフ表示が可能で、ランバーシアン仮定による外部量子効率の結果も測定できます。

発光輝度、スペクトル、発光角度分布測定の実演を行いました。
設定ステップ角度ごとにデータの表示が可能です。

有機EL外部量子効率測定装置 C9920-12

積分球を用い、発光角度分布特性に依存することなく精度の高い発光効率測定が可能！
有機ELデバイスを電流（電圧）励起し、発光するフォトン数を計測し、外部量子効率を測定 する装置です。内部の有機EL発光材料層の発光効率だけでなく、有機EL材料層やガラス基板 による吸収、反射ミラー面の反射効率等効率に関係する要素も含め測定可能です。

発光するフォトン数を計測し、外部量子効率測定の実演を行いました。

光干渉式膜厚測定装置 C10178

光干渉法により、非接触で20nm～の薄膜を測定。
光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。
薄膜にサンプルに白色光を照射し、その表面と基板との界面からの反射(または透過)スペクトルをカーブフィッティング(またはFFT)により解析し、膜厚を測定します。検出器には電子冷却型マルチチャンネル検出器を採用し、高感度・高精度・高速な計測が可能です。

マシンビジョン用CCDカメラ C9300-124

1000万画素以上の高解像度と高速性を両立
従来の高解像度デジタルカメラに比べて格段の高速性を有するマシンビジョン用カメラ。1000万画素の高解像度で4.5 フレーム/秒の高速読み出しを実現。また、ビニング、サブアレイ等の特殊読み出しにより、任意の部位をさらに高速で読み出すことも可能です。

液晶画面の高速観察を実演展示しました。

デジタルCCDカメラ ORCA-HR

CCDの低暗電流特性を利用し、自然空冷で容易な操作性を実現。
デジタルCCDカメラ・ORCAシリーズの高性能をそのままに、新たに1000万画素のインターライン型CCDを搭載したデジタルカメラです。紫外から赤外まで、ノイズの少ない高品質な画像取得が可能です。

APイメージャカメラ C9720

Siウェーハ、LCD、光学ガラス、金属塗装面などの表面の肉眼では見えない微小な形状欠陥や埃の有無の検査に適した特殊カメラ
半導体、LCD製造工程の発塵源の特定などを目的とした空気中の微粒子可視化などにも応用されます。
撮像素子として、放送用高感度カメラに採用されているAP (Avalanche Photo-diode)イメージャを使用しています。APイメージャは、紫外域から可視域において高感度、高SN比、ワイドダイナミックレンジ等の特長を有します。これにリアルタイム微分処理機能を付加することにより、肉眼をも上回る検出能力を可能にしました。
展示会場では検出能力を示すために、表面検査と空気中の微粒子の撮像デモを行いました。

静電気除去装置 防爆型フォトイオナイザ L9499

クリーンなイオン生成方式「Photoionization（光電離）」を利用した防爆型の静電気除去装置
従来のコロナ放電方式とは違い、「塵や電磁ノイズ、オゾン」の発生しないクリーンな除電です。また、イオン生成バランスが均等であるため、逆帯電を起こすことがありません。防爆型フォトイオナイザは、筐体の構造及びケーブルの接続部を関連規格に適合するように開発いたしました。
展示会場では通常のタイプと並べて展示し、静電気除去装置の性能紹介と併せて防爆仕様品の説明を行いました。

スポット光源 LC８

ランプから放射される光をライトガイドに集光し、強力な光を出力します。
紫外光を出力するタイプと可視光を出力するタイプを用意しています。紫外線接着剤の硬化用光源として、光学部品の接着、FPD工程、UVインクの硬化等で使用されています。

展示会場ではLC8の特長であるPCによる照射制御のデモを行いました。

UV-LEDスポット光源 LC-L1

365nmのUV-LEDを搭載した光源です。
単色光源であり、熱やDUV光による照射物への影響・ダメージがありません。低消費電力で環境にもやさしい光源です。
LEDの寿命は30,000時間と長く、ランプ交換によるライン停止時間を少なくできます。
ランプ技術と半導体技術を凝縮した光源です。
展示会場ではタイマーにより制御されたLC-L1の照射デモを行いました。